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Large-Scale Synthesis of Water Dispersible Ceria Nanocrystals via Simple Sol-Gel Process and their Applications to Chemical Mechanical Planarization Slurry

등록일
2008년 8월 18일 15시 52분 01초
접수번호
1554
발표코드
36P285포 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
금 <발표Ⅳ>
발표형식
포스터
발표분야
재료화학
저자 및
공동저자
유태경, 현택환, 문재원
서울대학교 화학생물공학부, Korea

Ceria nanocrystals with cube shape were synthesized from the hydrolytic sol-gel reaction of cerium salt in the presence of oleylamine. The overall synthetic process is very simple and readily applicable to the large scale synthesis of tens of grams in a single reaction under air atmosphere. These ceria nanocrystals are readily dispersible in an aqueous media without adding any extra dispersing agent and the aqueous dispersion of the ceria nanocrystals was successfully applied to CMP slurry, exhibiting high removal selectivity between silicon oxide and silicon nitride at pH 7.


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