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제105회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 반도체 Precursor의 개발 동향

등록일
2010년 3월 27일 13시 31분 47초
접수번호
1483
발표코드
목22K3심 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
목 14시 : 50분
발표형식
심포지엄
발표분야
KCS School 정보전자 산업에서 화학 소재
저자 및
공동저자
유승호
비엔아이테크, Korea
정보전자 소자 관련하여 고유전율 게이트 절연막, 저유전체막, 캐패시터 유전체막 금속배선막, 확산방지막 등 각종 기능 재료들이 화학증착법으로 만들어져 왔으며 이를 위하여 다양한 화학전구체가 활용되어 왔다. 화학증착기술을 이용하여 소자를 구현하기 위하여는 무엇보다도 사용하는 전구체의 개발과 그 특성의 평가가 선행되어야 한다. 반도체 공정의 발전과 함께 그 중요성이 더욱 커지고 있는 화학전구체의 개발동향을 알아본다.

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