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제107회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 Alignment control of Liquid Crystal Molecules using sub 20nm Indium Tin oxide Pattern

등록일
2011년 2월 24일 16시 56분 54초
접수번호
1696
발표코드
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발표시간
목 <발표Ⅰ>
발표형식
포스터
발표분야
재료화학
저자 및
공동저자
정현수, 전환진, 김정현, 손백식, 정희태
KAIST 생명화학공학과, Korea
We describe a new molecule alignment technique using second sputtering lithography that enables fabrication of ultrahigh-resolution (ca< 15nm) and high aspect ratio (ca. 10) patterns of indium tin oxide (ITO). We found that the patterned ITO simultaneously acts as an electrode and nano-groove for the alignment of liquid crystal (LC) molecules over large area without any alignment layers. This method not only avoids the high-temperature process, dust and ion contamination caused by previous methods employing polymers for alignment layers, but also provides systematic studies of anchoring energy in terms of height and period of ITO pattern that allow us to investigate critical dimensions of pattern for the alignment of LCs. Good electro-optical responses from liquid crystal light modulators that are formed in this manner suggest utility for fundamental studies and potential practical future application such as flexible display.

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