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제109회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 Patterned Growth of ZnO Nanowire by Tetramethylammonium Hydroxide in Aqueous Solution

등록일
2012년 2월 23일 15시 15분 02초
접수번호
1449
발표코드
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발표시간
4월 25일 (수요일) 18:00~21:00
발표형식
포스터
발표분야
재료화학
저자 및
공동저자
김용희, 백남섭, 정명애1, 정상돈
한국전자통신연구원 신경계인터페이스연구팀, Korea
1한국전자통신연구원 융합기술미래기술부, Korea
We present herein a simple protocol of growing a patterned ZnO nanowire by etching of ZnO seed layer in the tetramethylammonium hydroxide (TMAH) solution. The ZnO seed layer was fabricated by sol-gel method using zinc acetate solution and ZnO seed layer was patterned by using photolithographic method. Patterned ZnO seed layer was etched in the TMAH solution and subsequently grown by hydrothermal method. Remarkable point of this patterned ZnO nanowire that the development of photoresist and etching of ZnO seed layer was continued concurrently in aqueous TMAH solution. The properties of ZnO nanowire was investigated by XRD data which show the high purity and good crystallinity.

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