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제111회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 Ultra-sensitive NO2 Gas Sensor using Ultrathin InAs Nanoribbons

등록일
2013년 2월 28일 16시 05분 30초
접수번호
1484
발표코드
MAT.P-1078 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
4월 17일 (수요일) 16:00~19:00
발표형식
포스터
발표분야
재료화학
저자 및
공동저자
고우리, 이정은, 이현주, 전충섭, 이민형*
경희대학교 응용화학과, Korea

This work presents the fabrication and characterization of NO2 gas sensors by using ultrathin 2-D semiconductor nanoribbon (NR) membranes. The sensor employs the 8 nm-thick InAs NRs, transferred on a Si/SiO2 substrate, as a sensing element. Using a conventional CMOS fabrication process, the sensor devices were fabricated. The sensor demonstrated the responses down to parts-per-billion (ppb) level at room temperature and the predominant reaction to NO2 exposures. Furthermore, a 4-fold higher sensor response was observed in the 8 nm-thick InAs NR sensor compared with the one with the 18 nm-thick InAs NRs, indicating the improved size effects by scaling down to quantization limits.


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