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제113회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 IR correlation spectroscopy to detect a target gas using its micrograting

등록일
2014년 2월 20일 16시 34분 59초
접수번호
1410
발표코드
PHYS.P-444 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
4월 16일 (수요일) 16:00~19:00
발표형식
포스터
발표분야
물리화학
저자 및
공동저자
최은우, 조충만, 김성규*
성균관대학교 화학과, Korea
Eunwoo Choi, Choong-Man Jo, Seong Kyu Kim Department of Chemistry, Sungkyunkwan University, Suwon 440-746, Korea Using a gradient searching error minimization method, we designed the patterns of microgratings which can retrieve the IR spectra of several target gases. Especially, the designed microgratings for SF6 and NH3 were fabricated by a series of etching process using four masks on a silicon wafer in 19.2×19.2 mm2 size. Each micrograting has 1441 reflecting lines of 13.323 μm width, whose depths are discretized into 16 levels between 0 and 6.9 μm. When monitored at 15o angle, each micrograting generated the IR spectrum in good agreement with the reference one. The diffraction spectrum can be shifted linearly with diffraction angle, which provides a modulation necessary for the correlation spectroscopy. We demonstrate the correlation signal detected for SF6 or NH3 gas in nitrogen atmosphere. We also show cross-correlation simulations for numerous gases in the spectral range of 750 ? 1400 cm-1, which may provide criteria to identify the target gas from the correlation signal.

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