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제114회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 Synthesis and thermal properties of Silicon Nitride Precursors

등록일
2014년 8월 28일 17시 45분 54초
접수번호
1363
발표코드
PHYS.P-472 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
10월 15일 (수요일) 16:00~19:00
발표형식
포스터
발표분야
물리화학
저자 및
공동저자
변재형, 강준길*
충남대학교 화학과, Korea
Reaction of the secondary amine NHR2 (R = Me, Et), and symmetric and asymmetric β-diketiminate (nacnacR, R = n-Pr, i-Pr, n-Bu, i-Bu), with one equivalent of tetrachlorosilane yielded the silicon precursor (nacnacR)xSi-(NR2)y (x = 1 - 2, y = 2 - 3). All complexes were characterized by NMR, TGA and DSC studies The phase of the synthesized Si Precursor was dependent on the number of equivalent of nacnacR ligand in the complex: on equivalent formed as powder state and two equivalent ligand formed as liquid state. The thermal properties of the precursors will be discussed in terms of the decomposition temperature.

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