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제114회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 ZnWO4 합성과 박막제작 Synthesis and Fabrication of ZnWO4 Thin Films

등록일
2014년 9월 4일 15시 18분 45초
접수번호
1488
발표코드
PHYS.P-487 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
10월 15일 (수요일) 16:00~19:00
발표형식
포스터
발표분야
물리화학
저자 및
공동저자
이국진, 조선욱*
신라대학교 신소재공학과, Korea

광학적 디스플레이나 에너지 소재로서의 응용을 염두에 두고, ZnWO4 박막제작을 위해 고상법으로 ZnWO4를 합성하였다. 반응 ZnO + WO3 --> ZnWO4 과 반응 (ZnCO3)2-[Zn(OH)]2-3 + 5WO3 --> 5ZnWO4 + 2CO2 + 3H2O 중에서 훨씬 더 좋은 PL 특성을 보이는 ZnWO4 가 형성되는 소결온도가 달랐다. 최고 950도에서 3시간 소결을 거쳐 만들어진 ZnO + WO3 --> ZnWO4 분말시료를 타겟으로 만들어 RF magnetron sputtering 방법을 이용하여 기판에 증착을 시도하였다. 박막은 증착온도 25, 100, 200, 300, 400 도에서 네 가지 종류의 기판 글라스, 쿼츠, 사파이어, 실리콘에 만들어졌다. 300도에서 증착한 것이 박막이 잘 형성되었고, 500도에서 30분간 RTA를 거쳐 박막이 성공적으로 제작 되었다. PL과 흡광도를 측정하여 ZnWO4 박막의 물성을 확인하였다.


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