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제114회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 MgWO4 합성과 박막제작 Synthesis and Fabrication of MgWO4 Thin Films

등록일
2014년 9월 4일 15시 48분 20초
접수번호
1499
발표코드
PHYS.P-490 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
10월 15일 (수요일) 16:00~19:00
발표형식
포스터
발표분야
물리화학
저자 및
공동저자
강은주, 백경래, 조선욱*
신라대학교 신소재공학과, Korea

스마트 윈도우나 광학적 디스플레이 응용을 염두에 두고, MgWO4 박막제작을 위해 고상법으로 MgWO4를 합성하였다. 반응 MgO + WO3 --> MgWO4 보다는 반응 (MgCO3)4-Mg(OH)2-5H2O + WO3 --> 5MgWO4 + 4CO2 + 6H2O 를 택하는 것이 훨씬 더 좋은 PL 특성을 보이는 MgWO4 가 만들어졌다. 최고 950도에서 3시간 소결을 거쳐 만들어진 분말시료를 타겟으로 만들어 RF magnetron sputtering 방법을 이용하여 기판에 증착을 시도하였다. 박막은 증착온도 25, 100, 200, 300, 400 도에서 네 가지 종류의 기판글라스, 쿼츠, 사파이어, 실리콘에 만들어졌다. 300도에서 증착한 것이 박막이 잘 형성되었고, 500도에서 30분간 RTA를 거쳐 박막이 성공적으로 제작 되었다. PL과 흡광도를 측정하여 MgWO4 박막의 물성을 확인하였다.


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