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제119회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 Facile metal transfer method to fabricate nanosize metal structure

등록일
2017년 2월 16일 10시 54분 58초
접수번호
4381
발표코드
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발표시간
4월 21일 (금요일) 13:00~14:30
발표형식
포스터
발표분야
재료화학
저자 및
공동저자
김병훈, 고두현*
경희대학교 응용화학과, Korea
Metal structures show large surface plasmon resonance effect due to its abundant free electrons. In order to generate surface plasmon effects at the visible range, subwavelength metal nanostructures should be provided. However, the conventional methods, such as photolithography or nanosphere lithography method, could only produce limited form of the metal nanostructures. In this study, we developed periodic metal nanostructure transfer method which could be adapted to the various substrates such as SiO2 and polymer layer. These structures have been further employed as metal mask due to its high etching selectivity. With metal nanostructure transfer method, we not only optimized localized surface plasmon resonance at the visible range but also achieved nanopatterned substrate via RIE etching process.

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