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Synthesis of Novel Carbosilane Precursors for Si-C

등록일
2007년 2월 12일 15시 34분 21초
접수번호
0375
발표코드
금8D1심 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
금 09시 : 00분
발표형식
심포지엄
발표분야
무기화학 - Main Group Element Chemistry
저자 및
공동저자
유복렬, 임원철, 한준수, 정동의1, 황영애1
한국과학기술연구원 나노재료연구센터,
1상명대학교 화학과,
Carbosilanes, consisting of a backbone of alternating Si and C atoms, have been regarded as important CVD precursors for silicon carbide. These precursors can be produced by the direct synthesis of polychloromethanes, silylalkyl chloridess, silylalkyl dichloride and, etc. giving a variety of carbosilanes such as bis(silyl)methanes, tris(siyl)methanes, and other polysilaalkanes. We have recently developed a useful organic salt catalyzed condensation of bis(silyl)methanes affording cyclic and linear carbosilanes. In the condensation, !,3,5-trisilacyclohexane which is ideal CVD precursor was obtained as major product for Si-C along with linear carbosilanes, 1,3,5-trisilapentane and 1,3,5,7-tetrasilaheptane, etc. The organic salt-catalyzed condensation of bis(silyl)methanes giving relatively volatile carbosilanes will be discussed in details.

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