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Local Anodization on Si surface Using SPM; Effects of Tip Voltage, Deflection Setpoint, Tip Velocity

등록일
2007년 2월 13일 11시 51분 49초
접수번호
1041
발표코드
32P270포 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
금 <발표Ⅳ>
발표형식
포스터
발표분야
전기화학
저자 및
공동저자
김창환, 신운섭1
서강대학교 화학과 바이오융합 협동과정,
1서강대학교 화학과,
The effects of tip voltage, deflection setpoint, and tip velocity on height of SiO2 line drawn by local anodization on Si wafer using scanning probe microscope were investigated. No local anodization was detected at smaller than -3 V of tip voltage. The line height increased at rate of 0.47 nm/V when the tip voltage is stronger than -3 V at 1 μm/s tip velocity. From deflection setpoint, mechanical force between tip and substrate could be calculated and the threshold force was 12~18 nN. The height of anodized SiO2 lines is independent of the magnitude of force above the threshold force. The line height decreased as increasing the tip velocity and limited to 0.7 nm at -5 V tip voltage.

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