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미세화학 응용을 위한 마이크로 공정 기술

등록일
2007년 8월 27일 14시 14분 04초
접수번호
1564
발표코드
금18E1심 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
금 09시 : 00분
발표형식
심포지엄
발표분야
유기ㆍ재료ㆍ분석 - Microchip Chemistry 2. Microreaction Chemistry & Technology
저자 및
공동저자
이성호, Ryutaro Maeda1
나노종합팹센터 넴스바이오 팀,
1AIST, Japan,
마이크로 화학 시스템은 다양한 화학 프로세스를 적용하기 때문에 실리콘, 유리, 폴리머 재료 등 많은 재료들의 미세가공 기술과 표면개질 등의 기술들이 이용되고 있다. 미세공간에서의 화학 반응 효율을 증가시킬 수 있는 수십 이상의 고 종횡비(High aspect ratio)를 가지는 마이크로 반응 공간을 제작하기 위하여 다양한 공정 기술 들이 적용되고 있다. 고 종횡비 구조 제작을 위해 실리콘, 유리 재료에는 주로 건식 식각 방법(Deep reactive etching)이 이용되고 있고, 폴리머 재료에는 니켈 등의 금속 몰드로서 미세 패턴을 이동시키는 방법을 이용하고 있다. 또한 부식성이 강한 화학 공정에 이용하기 위해서는 금속, 세라믹 기판 재료가 이용되고, 방전 가공이나 프린팅 기술을 이용하여 마이크로 구조체를 제작하고 있다. 본 발표에서 마이크로 재료 가공 기술에 대해 언급한다. 마이크로 밸브, 펌프 등 유체 시스템과 센서로 구성된 3차원 복합 구조 제작은 마이크로 화학 응용을 위한 핵심 기술이라고 할 수 있다. 3차원 구조체 형성을 위한 방법들과 실리콘, 유리, 폴리머 등 다양한 재료로서 구성된 3차원 적층 구조를 제작하기 위한 패키징 기술을 소개한다. 본 연구는 2007년도 한국과학재단의 특정기초연구사업의 지원을 받아 수행되었다(과제번호: R01-2006-000-11311-0).

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