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제108회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 Silicone Materials in Electronics

등록일
2011년 8월 5일 09시 37분 32초
접수번호
1509
발표코드
KCS1-5 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
금 16시 : 10분
발표형식
심포지엄
발표분야
[KCS School] Advances in Silicon-based Materials Chemistry and Technology
저자 및
공동저자
김우한
제일모직, Korea

실리콘 재료는 유기 재료와 비교되는 독특한 특성들로 인해, 많은 산업 부문에 쓰이고 있다. 실리콘 재료는 전자제품에도 꼭 필요한 재료이다. 이번 세미나에서는 전자제품에 쓰이는 여러 실리콘 재료들 중 제일모직에서 개발한 Si-SOH, SOD, LEDSE에 대해 다루도록 한다. 반도체 회로의 선 폭이 미세화됨에 따라, 어떤 재료는 사라지게 되고, 어떤 재료는 새롭게 등장하게 된다. 스핀코팅이 가능한, 반도체 패턴용 Si-based Hardmask(Si-SOH)와 STI용 Spin-on Dielectric(SOD)는 선 폭이 좁아짐에 따라 새롭게 등장한 재료이다. LED용 실리콘 봉지재(LEDSE)는 백색 LED가 개발되고, TV의 back-light unit으로 쓰이게 되면서, 각광을 받게 된 재료이다. 신뢰성이 많이 필요한 application에 사용된다. 세 가지 item들을 소개하면서, 실리콘 재료가 전자 제품에 어떻게 쓰이고 있는지 개괄적으로 review하는 것이 목적이다.


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