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제108회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 세라믹 전구체 무기고분자 및 응용연구: Pre-Ceramic Polymers & Applications

등록일
2011년 8월 5일 12시 51분 35초
접수번호
1526
발표코드
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발표시간
금 14시 : 30분
발표형식
심포지엄
발표분야
[KCS School] Advances in Silicon-based Materials Chemistry and Technology
저자 및
공동저자
dpkim
충남대학교 공업화학과, Korea

Lab-on-a-chip은 화학, 생물적 실험 기능을 칩에 집적화시킨 장치로서, 최근에는 저렴한 soft lithography공정을 활용한 각종 PDMS 칩소자가 제작되어 그 사용범위가 더욱 넓어지고 있다. 그러나 내열성과 화학적 안정성이 요구되는 거친 조건하에서 작동이 가능한 Lab-on-a-chip을 미세화학 시스템에 활용하기 위해서 금속, Si 및 유리재료가 적합하나, 식각 공정을 근간으로 하는 machining공정은 특별한 시설과 경험이 필요하여 새로운 재료와 적합한 Fab. 공정 개발이 요구된다. 이러한 관점에서 세라믹 전구체 액상 무기고분자의 우수한 성형성은 매우 유용하며, 이미 열적/기계적 특성이 우수한 SiC, Si3N4 섬유, 복합재, 박막 세라믹에 의해 가능성이 입증되었다. 이러한 특성은 거친 조건하에서도 작동이 가능한 MEMS (NEMS), Lab-on-a-Chip소자등 새로운 용도 창출이 기대된다 이에 본 연구실에서는 무기고분자와 각종 lithography공정을 활용함으로서 micron 및 nanoscale의 세라믹 패턴을 제조하였으며, 세라믹 MEMS 부품으로서 3차원적 미세구조물, 그리고 최근에는 Lab-on-a-chip형 마이크로 반응기를 제조하였다. 각종 액상 무기고분자를 lithography법과 template법으로 가공하여 μm 혹은 nm수준의 고분자 패턴과 다공성 구조물을 성형하고, 이를 비활성 분위기하에서 가교/열처리(800~1000℃)함으로서 SiC계 미세 구조물을 제조하였다. 또한 200℃이하의 플라스틱공정 및 저온 수화처법을 활용하여 내용매성 Lab-on-a-chip소자를 제작하여 새로운 유기, 무기, 고분자 합성장치로서 활용함으로서 Microfluidics소자의 새로운 패러다임을 구축하고 있다.


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