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제118회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 Development of cluster ion secondary ion mass spectrometer

등록일
2016년 9월 1일 15시 54분 24초
접수번호
2382
발표코드
PHYS.P-446 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
10월 13일 (목요일) 11:00~12:30
발표형식
포스터
발표분야
물리화학
저자 및
공동저자
은한준, 김정환1,*, 김남준*
충북대학교 화학과, Korea
1한국기초과학지원연구원 질량분석장비개발팀, Korea
SIMS(Secondary ion mass spectrometry) is a technique used to analyze the composition of solid surfaces and thin films by sputtering the surface of the specimen with a focused primary ion beam and collecting and analyzing ejected secondary ions. Especially GCIB (gas cluster ion beam) is less destructive methode than other Primary ion beam source. A new homemade linear TOF(time-if-flight) is being setup in our laboratory. The cluster ion produced Toluene and Argon carrier gas by photoionization. We successfully obtain Huge Toluene+-Arn cluster(n≥1000).

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