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제128회 대한화학회 학술발표회, 총회 및 기기전시회 안내 Zirconium-based photoresists for extreme ultraviolet lithography

등록일
2021년 7월 19일 13시 34분 39초
접수번호
2065
발표코드
POLY2-3 이곳을 클릭하시면 발표코드에 대한 설명을 보실 수 있습니다.
발표시간
금 09시 : 50분
발표형식
심포지엄
발표분야
Polymer Chemistry - Recent Trends in Patterning Materials
저자 및
공동저자
Ji-Hyun Jang
Energy and Chemical Engineering, Ulsan National Institute of Science and Technology, Korea
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